壓力傳感器應(yīng)用原理說(shuō)明
時(shí)間: 2023-12-27 09:20:40 瀏覽次數(shù):
隨著工業(yè)技術(shù)的快速開(kāi)展,壓力傳感器在精細(xì)測(cè)星范疇的應(yīng)用市場(chǎng)前景越來(lái)越廣詞。MEMS壓力傳感騾應(yīng)運(yùn)而生。與傳特的壓力傳感器相比,MENMS壓力傳感器不只體積小,而且現(xiàn)星精度高,功耗低,本錢(qián)低。大多數(shù)MEMS壓力傳感器的壓力元件是硅膜片。根櫻下同的敏)感機(jī)制),MENS壓力傳感器能夠分為三種壓阻式、電容式調(diào)和振式。其中,硅壓阻力IMEMS壓力傳感器采用高精度半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片,構(gòu)成惠斯頓。
壓力傳感器的規(guī)范流程如下首先,將四個(gè)電阻應(yīng)變片注入拋光的硅襯底,電阻應(yīng)變片設(shè)計(jì)在硅珪摸外表應(yīng)力大的中央,構(gòu)成惠斯頓電橋。然后,在圖片的反面,從硅片的中間獨(dú)刻出一個(gè)應(yīng)力杯。鍵合圓片的反面。依據(jù)產(chǎn)品應(yīng)用,能夠在應(yīng)力杯中拉真空制造絕壓MEMS設(shè)備,也能夠堅(jiān)持應(yīng)力杯與大氣的銜接,制成表壓MENS設(shè)備。產(chǎn)品封裝后,當(dāng)珪膜兩風(fēng)的壓差發(fā)作變H時(shí),應(yīng)力硅膜會(huì)發(fā)作彈性變形,毀壞原有的惠斯頓電橋電路均衡,從而產(chǎn)生—個(gè)電橋。