壓力傳感器在汽車上的應用
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來，本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，然后介紹基于MEMS技術(shù)應用于汽車的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應工作的壓阻元件。所謂壓阻元件，實際上是指集成電路工藝在半導體材料襯底上形成的分散電阻。當它受到外力作用時，其電阻值會隨著電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時需要附著在彈性元件上，常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局，封裝在殼體內(nèi)。在圓形單晶硅膜片上，插入四個分布式電阻，兩個在壓應力區(qū)，另兩個在拉應力區(qū)。它們組成了一個全橋測量電路。硅膜片固定有圓形硅杯，兩側(cè)有兩個壓力腔，一個是與被測壓力連續(xù)的高壓腔，另一個是低壓腔，與參考壓力相連，參考壓力通常與壓力大氣相同。當有壓差時，膜片變形，使兩對電阻的電阻值發(fā)生變化，電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側(cè)所承受的壓力差。
目前，壓力傳感器是一種典型的汽車傳感器，在汽車上得到了廣泛的應用。隨后被廣泛應用于高壓場所，如懸浮壓力檢測、空調(diào)制冷壓力檢測等?，F(xiàn)在，壓力傳感器進一步擴展到高壓場所，如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統(tǒng)?？梢?，壓力傳感器在汽車領(lǐng)域有著廣闊的發(fā)展前景。

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